【Nano-S】 特別講演: ナノインプリント オプトエレクトロニクスへの挑戦

4月15日[金] 10:00~12:00

特別アドバイザー: (独)新エネルギー・産業技術総合開発機構 古室 昌徳

次世代光学素子の製造のためのナノインプリント技術

[講師]
北海道大学
電子科学研究所 教授
西井 準治


<講演内容>
非球面レンズや回折格子などの従来の光学素子の表面に微細な周期構造を形成することで、新たな機能を実現することができる。本講演では、実用期を迎えた次世代光学素子の製造方法として期待されているインプリント技術の最新動向を紹介する。

<講演者プロフィール>

1982年
同年
1993年
2001年
2002年~09年
2004年
東京都立大学工学研究科修士課程修了。
日本板硝子入社。
大阪工業技術試験所入所。
産業技術総合研究所に改組。光機能材料とそのデバイス応用の研究に従事。09年7月より現職
神戸大学連携大学院教授併任。
日本セラミックス協会学術賞及び論文賞。
工学博士。

室温ナノインプリントの光学素子への応用

[講師] 
兵庫県立大学
高度産業科学技術研究所 教授・所長
ナノインプリント研究開発センター長
松井 真二

<講演内容>
水素シルセスキオキサン(HSQ)ポリマーを転写材として用い、室温でプレスすることによりナノインプリントが可能となる室温ナノインプリントを開発した。本講演では室温ナノインプリントの特性および光学デバイス応用について述べる。

<講演者プロフィール>

昭和56年3月
昭和56年4月
平成 4年7月
平成 9年4月
平成10年12月
平成23年3月
大阪大学大学院基礎工学研究科 博士課程 修了 工学博士
日本電気(株)マイクロエレクトロニクス研究所
日本電気(株)基礎研究所 担当部長
(株)半導体先端テクノロジーズ出向 基盤技術研究部 副部長
姫路工業大学(現兵庫県立大学) 高度産業科学技術研究所 教授
兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所 教授 所長
ナノインプリント研究開発センター センター長

ゾルゲルナノインプリント技術を用いた光学素子作製

[講師] 
日本板硝子(株)
機能性ガラス材料事業部門 研究開発部 グループリーダー
常友 啓司


<講演内容>
ゾルゲルナノインプリント技術を用いると、比較的低温で、さまざまな基板上にガラスのナノ構造を形成することができる。耐熱性や耐光性が高い、材料の光学特性が比較的容易に調整できる、といった特徴を活かした光学素子への応用が期待されている。

<講演者プロフィール>
1991年3月広島大学 大学院工学研究課 博士課程後期修了。
同年、日本板硝子に入社。
光学材料、素子関連の開発に従事。現在はナノインプリント、ドライエッチング等による、ガラス微細加工技術の開発を担当。

(敬称略)

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